Robespierre lui-même eurent quelque influence sur plusieurs actions de sa vie. On le taxa souvent de mysticisme, surtout en raison de ses relations avec la célèbre Catherine Théot. Les matérialistes n’entendirent pas avec plaisir les opinions qu’il exprima à la Convention sur la nécessité d’un culte public.
« Vous vous garderez bien, disait-il, de briser le lien sacré qui unit les hommes à l’auteur de leur être : il suffit même que cette opinion ait régné chez un peuple pour qu’il soit dangereux de la détruire ; car les motifs des devoirs et les bases de la moralité s’étant nécessairement liés à cette idée, l’effacer c’est démoraliser le peuple. Il résulte du même principe qu’on ne doit jamais attaquer un culte établi qu’avec prudence et avec une certaine délicatesse, de peur qu’un changement subit et violent ne paraisse une atteinte portée à la morale et une dispense de la probité même. Au reste, celui qui peut remplacer la divinité dans le système de la vie sociale est à mes yeux un prodige de génie, celui qui sans l’avoir remplacée ne songe qu’à la bannir de l’esprit des hommes me paraît un prodige de stupidité ou de perversité. »
Il faut reconnaître aussi parmi les détails de la cérémonie qu’il institua en l’honneur de l’Être suprême, un ressouvenir des pratiques de l’illuminisme dans cette statue couverte d’un voile auquel il mit le feu et qui représentait soit la Nature, soit Isis.
Robespierre une fois renversé, bien des philosophes cherchaient toujours à établir une formule religieuse en dehors des idées catholiques. Ce fut alors que Dupont de Nemours, le célèbre économiste, l’ami de Lavoisier, publia sa Philosophie de l’Univers, où l’on trouve un système complet sur la hiérarchie des esprits célestes,
